太阳能板 LDI 激光直接成像仪
McLantis 制造世界一流的太阳能板 LDI、太阳能电源板 LDI 和太阳能板直接成像仪
1. McLantis激光导向成像系统专为高质量太阳能板直接成像而设计。
2. 为客户节省人工和掩膜成本。
3. 通过省去掩膜制备这一工艺步骤，降低了工艺复杂性。
4. 凭借更优的套刻精度与CD均匀性控制性能，该系统成为太阳能板成像量产的最佳解决方案。
| 型号 | MAC-DSP-DI50E | MAC-DSP-DI30E | MAC-DSP-DI18E |
|---|---|---|---|
| 光源 | 光纤耦合激光器 + DMD | ||
| 激光功率 | 24瓦 | ||
| 波长 | 395nm - 415nm 紫外敏感 | ||
| 成像材料 | 涂有光刻胶的太阳能电池板 | ||
| 支持基材 | 最大：1200x1300mm 最小：250x250mm | ||
| 基板厚度 | 0.05mm to 5mm | ||
| 最小线宽/线距 | 50um / 50um | 30um / 30um | 18um / 18um |
| 线宽精度 | 4微米以内 | ||
| 聚焦深度 | 300um | ||
| 层对齐精度 | 20um | ||
| 外层对准精度 | 10um | ||
| 重复精度 | 2um | ||
| 文件格式 | Gerber274X、Gerber274D、ODB++ | ||
| 生产率（535x610mm，20 mj/cm2） | 39秒/侧 | 39秒/侧 | 每侧42秒 |
| 机器尺寸 | 2800x1700x1590mm | ||
| 机器重量 | 3500 KG | ||
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常见问题
太阳能板 LDI 激光直接成像仪有哪些可用型号？
MAC-DSP-DI50E / MAC-DSP-DI30E / MAC-DSP-DI18E
太阳能板 LDI 激光直接成像仪的关键规格是什么？
光源: 光纤耦合激光器 + DMD; 激光功率: 24瓦; 波长: 395nm - 415nm 紫外敏感; 成像材料: 涂有光刻胶的太阳能电池板; 支持基材: 最大：1200x1300mm 最小：250x250mm; 基板厚度: 0.05mm to 5mm; 最小线宽/线距: 50um / 50um; 线宽精度: 4微米以内; 聚焦深度: 300um; 层对齐精度: 20um; 外层对准精度: 10um; 重复精度: 2um