モーションコントロール

精密モーション制御

マイクロメートル精度のリニアモーターステージ

McLantis モーションプラットフォームは、直動モータステージ、グランイトベース、および特許のサーボアルゴリズムを組み合わせ、メートル級の移動範囲においてマイクロメートルレベルの位置決めを実現します。これは、光学的精度を生産性に変換するための機械的基盤です。

モーションコントロール

主な能力

  • 直動モータ直接駆動
  • グランitize・アクティブダンピング構造
  • サブマイクロメートル閉ループフィードバック
  • マルチアックスリアルタイム同期

主な用途

  • CTP/CTCPドラム型およびフラットベッド型位置決め
  • LDIステージスキャン
  • 高速プレート処理&オートロード
  • メトロロジー・検査

主な仕様

位置決め±0.5 µm
移動2,000 mmまで
ドライブ直動モーター、直接

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