モーションコントロール
精密モーション制御
マイクロメートル精度のリニアモーターステージ
McLantis モーションプラットフォームは、直動モータステージ、グランイトベース、および特許のサーボアルゴリズムを組み合わせ、メートル級の移動範囲においてマイクロメートルレベルの位置決めを実現します。これは、光学的精度を生産性に変換するための機械的基盤です。
主な能力
- 直動モータ直接駆動
- グランitize・アクティブダンピング構造
- サブマイクロメートル閉ループフィードバック
- マルチアックスリアルタイム同期
主な用途
- CTP/CTCPドラム型およびフラットベッド型位置決め
- LDIステージスキャン
- 高速プレート処理&オートロード
- メトロロジー・検査
主な仕様
位置決め±0.5 µm
移動2,000 mmまで
ドライブ直動モーター、直接