Imager à imagerie directe à laser pour MEMS
McLantis fabrique le premier LDI MEMS au monde, imagerie directe à laser MEMS, LDI semi-conducteur MEMS
- Le système d'imagerie de direction laser McLantis est conçu pour des lignes de très faible largeur MEMS
- Il économise sur les coûts de main-d'œuvre et de masque pour le client
- Il réduit la complexité en supprimant une étape du processus de préparation du masque
- La meilleure performance avec le recouvrement et le contrôle de l'uniformité CD a rendu les systèmes la meilleure solution pour l'impression en masse de applications HDI et flex
- Le système d'imagerie de direction laser McLantis peut exposer la base du matériau jusqu'à 630 x 730 mm avec une résolution jusqu'à 8 µm
| Modèle | MAC-DPB-DI10E |
|---|---|
| Source lumineuse | Fiber Coupled Laser + DMD |
| Puissance laser | 24 Watts |
| Longueur d'onde | 395nm - 415nm UV sensitive |
| Matériau d'imagerie | Conventional dry film, sensitive ink, LDI dry film |
| Substrat pris en charge | Max: 630x730mm Min: 250x250mm |
| Épaisseur du substrat | 0.05mm – 5mm |
| Largeur de ligne minimale / Pas | 8um / 8um |
| Précision de largeur de ligne | Within 4um |
| Profondeur de champ | 300um |
| Précision d'alignement des couches | 4um |
| Précision d'alignement de la couche externe | 4um |
| Précision de répétition | 2um |
| Format de fichier | Gerber274X, Gerber274D, ODB++ |
| Productivité (535x610mm, 20 mj/cm2) | 42s / side |
| Dimensions de la machine | 2800x1700x1590mm |
| Poids de la machine | 3500 KG |
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Frequently Asked Questions
Quelles sont les spécifications clés de Imager à imagerie directe à laser pour MEMS ?
Source lumineuse: Fiber Coupled Laser + DMD; Puissance laser: 24 Watts; Longueur d'onde: 395nm - 415nm UV sensitive; Matériau d'imagerie: Conventional dry film, sensitive ink, LDI dry film; Largeur de ligne minimale / Pas: 8um / 8um; Précision de largeur de ligne: Within 4um; Profondeur de champ: 300um; Précision d'alignement des couches: 4um; Précision d'alignement de la couche externe: 4um; Précision de répétition: 2um; Format de fichier: Gerber274X, Gerber274D, ODB++; Productivité (535x610mm, 20 mj/cm2): 42s / side