Laser MEMS
Laser MEMS & Imagerie Directe
Motors d'imagerie laser à sous-micron
Notre plateforme Laser MEMS intègre des miroirs micro-électro-mécaniques, des sources laser à haute stabilité et un façonnage de faisceau en temps réel pour fournir une imagerie directe au sous-micron pour PCB, écrans et emballage avancé. C'est le cœur optique de chaque système McLantis LDI et CTS.
Capacités
- Enregistrement de pixel sous-micronique
- Sources laser multi-longueurs d'onde (405 / 830 nm)
- Miroirs MEMS en matrice avec <1 µm de stabilisation
- Stabilisation thermique et de mise au point en boucle fermée
Applications
- Imagerie directe par laser (LDI) pour PCB
- Computer-to-Screen (CTS)
- Packaging avancé & substrat IC
- Exposition sans masque à semi-conducteur
Spécifications clés
Résolution d'imagerieJusqu'à 5 µm / 10 000 dpi
Inscription±1,5 µm
Longueur d'onde405 nm / 830 nm